基本参数：

1.扫描范围：90 μm x 90 μm(X, Y轴)、10 μm (Z轴)；

2.纵向噪音水平：< 30 pm RMS (开环)、35 pm RMS (闭环)；

3.水平噪音水平:   ≤ 0.1nm RMS (开环)、0.15 nm RMS(闭环) ；

4.空间扫描非线性度:  <0.5% (典型值, XYZ 三轴)；

5.样品台尺寸和固定方式：210mm直径，真空吸附，≤ 15mm厚

6.马达驱动样品台：180mm *150mm可观测区域

7.光学系统：5百万像素数字摄像头；180μm - 1365μm 可视区域

数字化缩放，马达驱动聚焦

8.AFM模式：ScanAsyst, TappingMode (air), Contact Mode, Lateral

Force Microscopy, Lift Mode, MFM, Force Spectroscopy;

Force Spectroscopy, Force Volume, EFM, Surface