Hitachi SU-8010冷场发射扫描电子显微镜

主要配置及特点:

(1)组成：主机 (包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及附件；

(2)电子枪：冷场发射电子枪；

(3)SE分辨率 15 kV：1.0 nm (工作距离4 mm)， SE分辨率 1 kV：1.3 nm；

(4)加速电压： 0.5-30 kV (标准模式)，0.1-2 kV (减速模式)；

(5)放大倍数：20-800000倍；

(6)通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程；

(7）具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落。