SU-8010扫描电子显微镜(SEM)
发布时间:2019-07-22 阅读量:

Hitachi SU-8010冷场发射扫描电子显微镜

主要配置及特点:

(1)组成:主机 (包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,冷却循环水系统,能谱仪,计算机,标准工具及附件;

(2)电子枪:冷场发射电子枪;

(3)SE分辨率 15 kV:1.0 nm (工作距离4 mm), SE分辨率 1 kV:1.3 nm;

(4)加速电压: 0.5-30 kV (标准模式),0.1-2 kV (减速模式);

(5)放大倍数:20-800000倍;

(6)通过预抽室交换样品,预抽室端面透明,可观察到样品交换过程;

(7)具有样品安装到位提示,避免样品在安装时脱落。